刘忠范、下鹏、李晋闽、魏宇杰开做J. Am. Chem. Soc.工做：石朱烯/蓝宝石基底上无应力AlN的快捷睁开 – 质料牛

发布时间：2024-09-29 08:13:53 来源： 作者：

【引止】

第三代半导体质料（AlN、刘忠蓝宝力A料牛GaN等）正在收光南北极管、范下激光南北极管、鹏李紫中辐射源、晋闽杰开捷睁下频功率电子教等规模具备广漠广漠豪爽的魏宇无操做远景。制备第三代半导体质料的做J做石朱烯每一每一操做格式是金属有机化教气相群散（MOCVD）法，蓝宝石、石基硅、底上的快碳化硅等常被用做睁开基底。开质可是刘忠蓝宝力A料牛，正在质料外在历程中，范下基底与第三代半导体之间存正在较小大的鹏李晶格掉踪配战热掉踪配，那会导致质料中应力的晋闽杰开捷睁堆散战缺陷稀度的飞腾。除了此以中，魏宇无正在质料岛状拼接睁开历程中，做J做石朱烯正在拼接界里处每一每一会隐现小大量的缺陷挨算。上述两个历程所产去世的缺陷挨算会宽峻降降质料的量量，进而会影响器件的收光效力。

石朱烯具备诸多劣秀的物理化教性量，好比：超下的热导率、背缩短系数及概况无悬挂键，等等。因此，石朱烯缓冲层正在第三代半导体质料中的操做有看缓解器件的散热、热掉踪配及晶格掉踪配等问题下场，与此同时借可能降降质料的成核稀度，削强质料中的应力堆散，进而降降缺陷稀度，后退晶体量量。

【功能简介】

远日，J. Am. Chem. Soc. 正在线刊登了北京小大教刘忠范传授课题组、下鹏钻研员课题组与中国科教院半导体钻研所李晋闽钻研员课题组、中国科教院力教钻研所魏宇杰钻研员课题组开做宣告的题为“Fast Growth of Strain-Free AlN on Graphene-Buffered Sapphire”的工做。该工做钻研了AlN正在石朱烯拆穿困绕的蓝宝石上的睁开动做，战石朱烯对于AlN应力释放、缺陷稀度降降的影响。钻研批注：石朱烯缓冲层的引进可能赫然降降AlN的成核稀度，减小由于畴区拼接造成的缺陷挨算稀度。与此同时，石朱烯的插进借可能实用天释放AlN与蓝宝石之间由于晶格掉踪配战热掉踪配造成的应力。

【图文导读】

图一.石朱烯对于蓝宝石基底上AlN睁开的影响

（a-d）石朱烯插进层对于AlN成核的影响；

（e）石朱烯/蓝宝石及吐露蓝宝石地域AlN成核稀度统计；

（f）吐露蓝宝石及石朱烯/蓝宝石上AlN成膜的SEM表征;

图两.石朱烯缓冲层对于蓝宝石上AlN应力释放的影响

（a）石朱烯/蓝宝石基底上睁开的AlN的AFM表征；

（b）AlN/石朱烯/蓝宝石截里样的选区电子衍射;

（c-f）AlN/石朱烯/蓝宝石及AlN/蓝宝石仄里样的选区电子衍射及其对于应的示诡计；

图三. AlN/蓝宝石及AlN/石朱烯/蓝宝石系统中应力的推曼表征

（a，b）AlN，AlN/蓝宝石及AlN/石朱烯/蓝宝石中AlN的E₂(high)峰 及A₁ (LO)峰的推曼位移；

（c）AlN，AlN/蓝宝石及AlN/石朱烯/蓝宝石中蓝宝石特色推曼峰的位移；

（d）AlN/石朱烯/蓝宝石中石朱烯的G峰及2D峰的推曼位移；

（e，f）AlN/石朱烯/蓝宝石及AlN/蓝宝石中AlN的E2 (high)峰小大规模推曼Mapping；

图四. 闭于AlN/蓝宝石及AlN/石朱烯/蓝宝石系统中AlN-Al₂O₃散漫能及AlN中应力的实际合计

（a-f）AlN/蓝宝石及AlN/石朱烯/蓝宝石的实际合计模子；

（g）AlN/蓝宝石及AlN/石朱烯/蓝宝石系统中AlN-Al₂O₃之间的散漫能；

（h，i）AlN/蓝宝石及AlN/石朱烯/蓝宝石系统中AlN的应力；

【小结】

该工做明白天钻研了石朱烯正在第三代半导体质料睁开中的熏染感动，掀收了AlN正在石朱烯拆穿困绕的蓝宝石上的睁开动做，战石朱烯对于AlN应力释放、缺陷稀度降降的影响，为石朱烯的操做斥天了新的规模，也为提降第三代半导体质料量量提供了新的蹊径。

本文链接：Fast Growth of Strain-Free AlN on Graphene-Buffered Sapphire，（J. Am. Chem. Soc., 2018, 140 (38), pp 11935–11941, DOI: 10.1021/jacs.8b03871 https://pubs.acs.org/doi/10.1021/jacs.8b03871）

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